报告题目：激光全息干涉光刻加工

报 告 人：李星辉 特别研究员 博士生导师

报告时间：12月15日 10:00

报告地点：线下：实验楼2B313
          线上:腾讯会议：401-918-192

科技处 前沿院 机电工程学院

2021年12月15日

报告人简介:

李星辉，清华大学特别研究员、博士生导师，2014年博士毕业于日本东北大学(Tohoku University), 微纳光学加工与光学精密测量领域专家。主要研究方向：激光全息干涉光刻、激光干涉测量、光谱分析与光谱共焦、结构光三维重建及机器视觉。在上述领域承担国家自然科学基金、国家重点研发计划、省自然基金等在内的项目15项，科研经费1600余万元；发表高水平学术论文70余篇，其中SCI论文45篇；申请发明专利20余项，授权发明专利10余项。